クライオポンプ 温度を下げると気体は凝縮し、さらに温度を下げると液体あるいは固体に変化し、 結果的にチャンバー内の圧力が下がります。この原理を利用したポンプがクライオポンプです。 ヘリウムガスの膨張時の吸熱を利用して、液体ヘリウム温度図5 当社ドライ真空ポンプ(代表例) 排気 吸気 ロータ ケーシング 図7 スクリュー形ドライ真空ポンプの排気原理 図8 ルーツ形ドライ真空ポンプの基本構造 ① ② ① ② ① ② ① ② ロータ ロータ 吸気 吸入 閉込 移送 排気 ケーシング 排気原理 独自の冷凍・極低温技術が生んだ高性能クライオポンプ。 極低温で超高真空を作るクライオポンプとは気体分子は、絶対零度(℃)近くに冷却された面に衝突すると、凝縮、吸着する特性をもっています。 この特性を利用し、極低温によって気体分子を排出するのがクライオポンプの原理です。 クライオポンプは、2段階の冷凍機で構成され、ファースト
クライオポンプ 真空ポンプ 高真空 の基礎知識 How To Ulvac Showcase